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在醫療領域應用的等離子體滅菌技術于20世紀80年代始于美國，Menashi等首先提出鹵素類氣體等離子體具有很強的殺菌作用，可用于非耐熱醫療器械的快速滅菌，低溫等離子體滅菌技術1987年獲得。
美國強生公司研制的Starrad 100S過氧化氫等離子體滅菌器，于1997年經FDA批準上市。現已在歐美、日本等發達國家醫療機構微創手術中廣泛使用。
2004年開始在我國推廣宣傳，已有幾十家大型醫療單位開始使用。由此也使得等離子體低溫滅菌技術在我國醫療領域的使用得到廣泛的認同。